ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ. СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ. НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ

Влияние легирования на проводимость a-Si:H

Наиболее существенным эффектом, связанным с легированием a-Si:H, является изменение его проводимости на шесть-десять порядков при кон­тролируемом введении примесей бора или фосфора [23], [25]-[30].

Наиболее распространенное объяснение механизма легирования a-Si:H заключается в изменении электрических свойств, вызыванных в основном переменой степени заполнения состояний в щели подвижности. При этом ус­ловии электрическая активность вводимых примесей и смещение уровня Фер­ми под действием добавок пропорциональны величине N^/g(Ef), где Nd — концентрация примеси; g(Ef) — плотность состояний на уровне Ферми ле­гируемого образца. Другими словами, механизм легирования связан с тем, что избыточные электроны и дырки, вносимые примесями, заполняют со­стояния в середине щели подвижности, действуя как компенсирующая при­месь для глубоких уровней. После заполнения всех состояний дополни­тельное легирование приводит к сдвигу уровня Ферми в направлении к зо­нам. Очевидно, что при фиксированной величине Nd сдвиг уровня Ферми тем меньше, чем выше исходная плотность состояний на уровне Ферми. В негидрогенизированном a-Si плотность g(Ef) достигает 10І9...1020 см-3.

Предельная растворимость примесей в кремнии составляет ~102° см-3, из-

за чего этот материал практически не легируется, т. е. не меняется ни вели-

57

чина, ни тип проводимости. В a-Si:H атомы водорода пассивируют оборван­ные связи, значительно уменьшая плотность дефектов до 1015...1016 см-3, что позволяет осуществлять его легирование.

ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ. СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ. НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ

Ключевые особенности технологических процессов, используемых «Oerlikon Solar»

Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) — активирован­ный плазмой ВЧ разряда химический процесс, наиболее распространенный для получения пленок аморфного и микрокристаллического кремния, ис­пользуемых в технологии фирмы «Oerlikon Solar». В плазме происходит …

Описание разработок технологии фирмы «Oerlikon Solar» по производству солнечных модулей на основе аморфного и микрокристаллического кремния (www. oerlikon. com)

В настоящее время солнечная энергетика является одним из наиболее перспективных видов возобновляемой энергетики. Основным устройством, используемым для прямого преобразования энергии солнечного света в элек­троэнергию, является солнечный модуль (СМ). Широкое применение …

Солнечные элементы на основе аморфного кремния

Наиболее значимыми на мировом рынке в области тонкопленочных солнечных элементов на основе аморфного кремния являются зарубежные компании, имеющие собственное производство гетероструктурных тонко­пленочных фотопреобразователей. Ведущими производителями каскадных тонкопленочных солнечных элементов на …

Как с нами связаться:

Украина:
г.Александрия
тел./факс +38 05235  77193 Бухгалтерия
+38 050 512 11 94 — гл. инженер-менеджер (продажи всего оборудования)

+38 050 457 13 30 — Рашид - продажи новинок
e-mail: msd@msd.com.ua
Схема проезда к производственному офису:
Схема проезда к МСД

Партнеры МСД

Контакты для заказов шлакоблочного оборудования:

+38 096 992 9559 Инна (вайбер, вацап, телеграм)
Эл. почта: inna@msd.com.ua