ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ. СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ. НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ

Метастабильные процессы в пленках a-Si:H

Многие физические свойства неупорядоченных полупроводников оп­ределяются термодинамической особенностью этого класса материалов: их удаленностью от состояния равновесия, характерного для кристаллов. Со временем такие структуры смещаются в сторону метастабильного равнове­сия. Это является причиной возникновения проблем практического характе­ра, связанных с временной и температурной деградацией характеристик при­борных структур, изготовленных на основе a-Si:H [25]- [30], [40]- [48].

В 1977 г. Стэблер и Вронски обнаружили, что после длительного осве­щения пленок a-Si:H белым светом величина проводимости уменьшается почти на четыре порядка (так называемый эффект Стэблера — Вронски) [40]. Под действием освещения возникает новое метастабильное состояние, обусловленное дефектами. На рис. 3.7 показано увеличение плотности со­стояний в щели подвижности a-Si:H с увеличением времени освещения. Все эти изменения являются, в то же время, обратимыми и после отжига при Т = 150 °С в течение одного часа свойства образца могут быть полно­стью восстановлены.

image137

Рис. 3.7. Зависимость плотности состояний в щели подвижности a-Si:H от времени освещения при различной интенсивности освещения

В транзисторных структурах, изготовленных на основе a-Si:H, обнару­жено влияние электрических полей на свойства материала. В частности, смещение порогового напряжения тонкопленочных полевых транзисторов под действием поля связано с образованием дополнительного числа метаста­бильных дефектов.

В результате проблема деградации характеристик приборных структур является одной из основных в технологии аморфного кремния, которая до настоящего времени полностью не решена.

58

ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ. СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ. НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ

Ключевые особенности технологических процессов, используемых «Oerlikon Solar»

Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) — активирован­ный плазмой ВЧ разряда химический процесс, наиболее распространенный для получения пленок аморфного и микрокристаллического кремния, ис­пользуемых в технологии фирмы «Oerlikon Solar». В плазме происходит …

Описание разработок технологии фирмы «Oerlikon Solar» по производству солнечных модулей на основе аморфного и микрокристаллического кремния (www. oerlikon. com)

В настоящее время солнечная энергетика является одним из наиболее перспективных видов возобновляемой энергетики. Основным устройством, используемым для прямого преобразования энергии солнечного света в элек­троэнергию, является солнечный модуль (СМ). Широкое применение …

Солнечные элементы на основе аморфного кремния

Наиболее значимыми на мировом рынке в области тонкопленочных солнечных элементов на основе аморфного кремния являются зарубежные компании, имеющие собственное производство гетероструктурных тонко­пленочных фотопреобразователей. Ведущими производителями каскадных тонкопленочных солнечных элементов на …

Как с нами связаться:

Украина:
г.Александрия
тел./факс +38 05235  77193 Бухгалтерия
+38 050 512 11 94 — гл. инженер-менеджер (продажи всего оборудования)

+38 050 457 13 30 — Рашид - продажи новинок
e-mail: msd@msd.com.ua
Схема проезда к производственному офису:
Схема проезда к МСД

Партнеры МСД

Контакты для заказов шлакоблочного оборудования:

+38 096 992 9559 Инна (вайбер, вацап, телеграм)
Эл. почта: inna@msd.com.ua

За услуги или товары возможен прием платежей Онпай: Платежи ОнПай