Уравнение Больцмана
В главе 5 мы видели, что движение электронов в пределах полупроводниковой зоны под воздействием электрического поля Р можно представить как изменение состояний в зоне, которое определяется выражением:
(6.1) |
|я(к, /)|2 - а К - , О
Это означает, что, если в момент времени / = 0 электрон находится в состоянии к, то затем в момент времени / он будет находиться в состоянии к + с^г/Ь. Напомним, что это обстоятельство лежит в основе феномена блоховских осцилляций. Другим образом влияние электрического поля может быть описано уравнением:
(6.2)
&
Эта формула аналогична закону Ньютона, если рассматривать Ь к как квазиимпульс. В реальном пространстве скорость электрона в состоянии к определяется групповой скоростью:
У(к) = -Ук£(к)
И, таким образом: |
П
Где мы можем предположить, что обратная матрица М~1 для эффективной массы не зависит от к вблизи энергетических экстремумов в обратном пространстве. Такой подход справедлив в случае идеального полупроводника (как и для других кристаллических твердых тел) с тем ограничением, что электрическое поле достаточно слабо, чтобы вызвать межзонные переходы, а также что рассеянием на несовершенствах (фононы, примеси и т. д.), приводящим к переходам между различными к-состояниями, можно пренебречь (последнее требование в общем случае не выполняется, и оно жестко ограничивает реализуемость этого подхода на практике).
С другой стороны, такое описание формирует основу полуклассической аппроксимации явлений переноса. В этом случае реакция электрона (расположенного в момент / в точке г полупроводника и в состоянии к зоны п) на воздействие локального поля Е(г) определяется соотношениями (6.1)—(6.4). Отклонения от идеального случая (из-за примесей, колебаний решетки, дефектов...) вызывают переходы между к и к' и не сопровождаются изменением положения частицы. Понятно, что такой подход является всего лишь аппроксимацией, так как в квантовой механике невозможно одновременное задание скорости и положения электрона (с любой точностью), а также вследствие того, что само понятие состояния к не имеет точного смысла за исключением бесконечно протяженного полупроводника. Несмотря на эти ограничения, указанный подход достаточно корректен до тех пор, пока изменениями интересующих нас параметров (например, напряженности поля, ...) на длине, равной или большей среднего расстояния между двумя событиями рассеяния, которое испытывает электрон, можно пренебречь. Ограничимся этим и не будем приводить здесь более детальное обоснование справедливости полукласси - ческого подхода. Очевидно, что в случае квантовой ямы полуклассическое приближение не является допустимым при рассмотрении движения электрона перпендикулярно границам раздела. В самом деле, основной отличительной особенностью полуклассической аппроксимации является то, что волновая природа электрона учитывается лишь косвенно через зонную структуру в виде Е(к) и через процессы рассеяния, которые рассчитываются как вероятности переходов в единицу времени (определяемые золотым правилом Ферми) с использованием волновых функций в начальном к и конечном к' состояниях. В этом случае ансамбль электронов в зоне может быть описан функцией распределения Дг, к, /)> описывающей либо вероятность найти электрон в момент времени / в положении г и состоянии к, либо число электронов в объемном элементе сРгсРк фазового пространства. Эти две возможные интерпретации связаны друг с другом плотностью состояний ^с!3г/(2я)3, где ^ = 2 — вырождение электронов по спину.
Характер изменения Дг, к, 0 в промежуток времени от / до / + с1/ и в отсутствие каких-либо столкновений можно описать, рассматривая объем фазового пространства в момент времени / + & (рис. 6.1).
Теперь частицы, которые находятся в точке (г, к), изначально в момент времени / находились в точке (г — ус!/, к — (ёк/ёО^О и, таким образом, испытали дрейф:
А
Г
Рис. 6.1. Орбиты группы частиц в фазовом про - странстве между моментами времени /0 и /1 и в отсутствие столкновений.
Г - ус1/, к - ^ с!/, / с1/ |
/ |
- /(г, к, О |
А/ |
Э/ /(г, к,/ + <!/)-/(г, к,/)_ Ы & |
С! к
= - у(к) • Уг/(г, к, 0 - — • Ук/(г, к, О
К частицам, продрейфовавшим к точке (г, к) мы должны прибавить чистое число частиц, введенных в эту область фазового пространства из-за столкновений из состояний к':
(6.6) |
^ 1 = У £(к' -> к)/(г, к', I) - 5(к к')/(г, к, О
& Ь>п к'
Где ^(к' —»к) есть вероятность в единицу времени того, что переход происходит между состояниями к' и к.
Уравнение, описывающее изменение /, под комбинированным воздействием электрического поля и столкновений дается, таким образом, соотношением:
(6.7) |
^ + у(к)Уг/+-^Ук/ = Э/ й
Уравнение Больцмана
Это уравнение, называемое уравнением Больцмана является очень важным, так как устанавливает взаимосвязь квантовых и классических аспектов поведения электронов в твердых телах. Как только становится известным решение /(г, к, /) этого уравнения, мы можем рассчитать такие средние макроскопические параметры, как концентрацию носителей:
(2*) &<13к |
■у(к)/(г, к, /) |
КМ) = <?/ |
(2 ж)3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Среднюю кинетическую энергию частиц:
(6.10) |
К, /) |
(£(г, /)) = —!— [М^£(к)/(г, к
«(г, /) J {2я)
А также дисперсию скорости:
Ст2 (г, о = —Г(к) - (у)21/(Г, к, Г) (6.11)
И(г, 01 (2л) I - I
Уравнение (6.7) в сочетании с членом столкновений (6.6) обладает малым практическим значением. Теперь попробуем получить несколько простых решений уравнений Больцмана. Сначала предположим, что интеграл столкновений можно аппроксимировать с использованием одного времени релаксации (зависящего только от энергии состояния к), стремящейся привести распределение обратно к виду^ч(г, к, /) (смотрите рис. 6.2), т. е.:
К. Дt |
^о11 |
|
|
Рис. 6.2. Функции распределения в состоянии равновесия (/^(к)) и под влиянием электрического поля (Дк)).
»(к)-У,/„+ *у(к).Р% |
Аппроксимация в виде (6.12) имеет чрезвычайную физическую значимость. В то время как все уравнения переноса, введенные нами до сих пор, инвариантны по отношению к обращению времени, уравнение (6.12) вводит предпочтительное направление («стрелу времени»). Многие связи между микроскопической теорией материи и макроскопической термодинамикой скрыты в этом уравнении. Это последняя аппроксимация означает, что как только возмущающее электрическое поле выключается, функция будет экспоненциально по времени релаксировать к своей первоначальной форме с временем релаксации т{Е). Отыскивая стационарное решение, близкое к функции распределения, с помощью итераций мы находим функцию распределения:
/ г /« - т(£(к))|у(к) • + д¥ ■ Ук/е,]= /„ - г(£(к))
ЪЕ (6.13)
С использованием этого последнего выражения получаем для средней скорости:
(2*) |
G/ь (2л)3 |
! |
Л |
*1г, £<Ю| |
|
|
|
|
|
|
В случае простого невырожденного полупроводника при температуре Т или /еч~ ехр(~Е/квТ), где кв — постоянная Больцмана и в предположении у(к)= Ьк/т' можем переписать уравнение (6.14) в виде:
(6.15) |
(▼(г)) = /«р - 0
Где /г — подвижность, определяемая соотношением:
9
(6.16) |
|у2гехр{-[£(к)Мв:Г]}(13к
3 квТ | ехр{-[£(к) / А:я7’]}<1 Зк а /)— коэффициент диффузии:
(6.17) |
, [ у2гехр{-[.£(к)/А:в7’]}с1 Зк
3 |ехр{-{£(к)/*,Г]}<13к
О к. Т О = —// Ч |
Сравнивая эти два последних уравнения, мы находим следующее отношение Эйнштейна, связывающее подвижность и диффузионный перенос:
(6.18)
Соотношение Эйнштейна
Возвращаясь к (6.15), мы видим, что ток определяется суммой двух Кг) = ?я(г)(у(г)> = яп(г)м¥ ~ яПЧгп(т) что может быть записано (смотрите рис. 6.3) в виде:
Членов: (6.19л) (6.19 б) |
КГ) = ^сопс!^) •ЬиП‘(Г)
F
Рис. 6.3. В условиях комбинированного воздействия электрического поля и соударений носители заряда увлекаются полем, но диффузионно рассеиваются соударениями. |
Ток проводимости ]сопс1 есть ток, описываемый законом Ома:
^о„А) = (6-20а)
Где а — есть электропроводность, которая связана с подвижностью соотношением:
Плотность диффузионного тока ^ связана с перемещением носителей в области структуры с меньшей концентрацией носителей и дается законом Фика:
Закон Фика
Замечание: С учетом # = — е в нашем определении электронной подвижности эта величина является отрицательной. Более общепринятым однако является использование абсолютных величин для # и //, что делает необходимым изменение знака перед // в уравнении (6.15).
Особо важный случай имеет место, когда занятыми являются только состояния вблизи энергетического минимума, когда эффективная масса вблизи минимума является изотропной (Дк) = Ь2к2/2т* + Ес). В этом случае подвижность может быть записана как функция определенной средней величины г для кинетической энергии:
|£3/2г(£)ехр[- (Е /кВТ)$Е И = (6-22)
ЪкгЛт л г, ...
|Е'12 ехр[-(£/^Г)]с!£
О
Если время релаксации не зависит от энергии Е, это последнее выражение сводится к простой модели Друде, при этом:
Т
Подвижность (см2 В-1 с-1) в модели Друде
В более общем случае, когда т(Е) = т0(Е/Е0)а, уравнение (6.22) принимает вид:
Ц-ЧФ, ТУ 2г[(5/2)+«]
А--------------------- 7^— з~^?72Г (щ
Где Г есть гамма-функция, Г(1/2) = Г(х + 1) = хГ(х).
Пример------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------ —-
При температуре 300 К арсенид галлия, легированный до концентрации 1015 см-3 имеет время релаксации 0,3 пс. При использовании формулы Друде ожидаемая подвижность электронов должна составлять 1,6 х 10~19 Кл х 3 х 10-13 с/(0,067 х 0,9 х 10“30 кг) или 8000 см2 В-1 с-1.