Униполярные квантово-каскадные лазеры
Одной из характерных особенностей полупроводниковых лазерных диодов является то, что в прямо смещенном диоде принимают участие два типа носителей (электроны и дырки). Это делает традиционные лазерные диоды биполярными приборами. Существует и другой класс лазеров, функционирование которых базируется исключительно на электронах — это т. н. униполярные квантово-каскадные лазеры. В данном случае в основе работы прибора лежит идея использовать межподзонные переходы в квантовых ямах (смотрите раздел 11.6). Точно также как межподзонное поглощение может использоваться в квантово-размерных фотоприемниках, в этом типе лазера используется межподзонное усиление. Принципиальные концепции, обеспечивающие функционирование прибора, иллюстрируются рисунком 13.3.1.
• Квантово-каскадный лазер является четырехуровневым лазером. Электроны с уровня |4) (в действительности с уровня |1), принадлежащего прилегающей квантовой яме) туннелируют через материал барьера на уровень |3) квантовой ямы. Из-за существования минизонных запрещенных зон (что является следствием периодичности потенциальных барьеров квантовых ям, действующих как «электронная брэгговская решетка») туннелирование электронов в состояния континуума затруднено и они могут лишь рекомбинировать в квантовых ямах (рис. 13.3.1а).
• Для обеспечения того, чтобы время жизни г12 для перехода |2> —> |1) было значительно меньше времени жизни г32 для |3) —> |2) (т. е. требование инверсии заселенности — смотрите главу 4) энергетический зазор Е12 делается резонансным по отношению к энергии фононов в материале матрицы (Еп = Ьсоор = 34 мэВ для ваАБ, смотрите дополнение 6.Б), что приводит к г12 = 0,4 пс (рис. 13.3.1 б).
• Переход |3) —> |2) должен сопровождаться передачей значительного квазиимпульса ц в виде эмиссии оптических фононов так, чтобы время жизни г32 было насколько возможно большим (смотрите дополнение 6.Б и уравнение (6. Б.39), где было показано, что скорость перехода изменяется как /ф) (рис. 13.3.1 б).
• Материал барьера, разделяющего квантовые ямы, должен быть приблизительно такого состава и толщины, чтобы под влиянием электрического поля уровень |1) в
одной яме находился в резонансном состоянии с уровнем |3) в прилегающей и более низко расположенной квантовой яме (рис. 13.3.1 б).
При выполнении всех этих условий мы получаем сложную структуру, показанную на рисунке 13.3.2. Приборная структура проектируется таким образом, чтобы матричные элементы г32 боли как можно большими. При этом распределение потенциала в условиях электрического поля приобретает ступенчатый характер и электроны проходят через нее каскадным образом (отсюда и название этого типа лазера). В нижней части каждого каскада этой структуры электрон генерирует фотон.
Е(к//) |
|4> |
13) |
|2>
Активная Область В Рис. 13.3.1. Схематичное представление межподзонных переходов в квантово - каскадном лазере с квантовой ямой (а). Условие передачи квазиимпульса на Дк)- диаграмме (б). Условия смещения, обеспечивающие резонансное туннелирование между последовательными квантовыми ямами (в). |
Инжектирующий барьер
Запрещенная
Минизона
Т
Активная Область |
Рис. 13.3.2. Зонная структура квантово-каскадного лазера (С. 8іПогі@ТНАЬЕ8).
При наличии оптической обратной связи становится возможной и лазерная генерация на этих переходах. Рассчитаем функциональные характеристики квантовокаскадного лазера при следующих параметрах прибора:
• длина волны излучения Л = 9,3 мкм при излучательном времени жизни гк = 60 не (смотрите уравнения (3.69) и (3.71));
• время жизни на уровне |2) есть т2 = 0,23 пс (включая одновременное проявление эффектов с участием оптических фононов и туннелирования);
• время туннелирования на уровне |3) составляет г3 = 1,5 пс, что приводит к квантовой эффективности туннелирования т/ = т2/тя или 2,5 х 10_3(смотрите уравнение
(13.13));
• длина резонатора составляет 1 мм;
• эффективный оптический коэффициент преломления в волноводе составляет л5с = 3,26, что приводит к коэффициенту отражения Ят = 0,28 и коэффициенту потерь на зеркалах ат: /ЬпЯ = 18 см-1;
• коэффициент паразитного поглощения а = 45 см-1 из-за эффекта поглощения на свободных носителях, которое очень эффективано в области достаточно больших длин волн (смотрите дополнение 7.В и уравнение (7.В. 12), при этом ар пропорционально Я2);
• коэффициент ограничения для N квантовых ям Гп определяется АТ15 где Г,= ^/^тос1е коэффициент ограничения одиночной квантовой ямы (где с1 — толщина квантовой ямы, а с1то6е — ширина моды) так, что Гл = 0,233 для 25 ям.
В рассматриваемом случае условие лазерной генерации получается при равенстве усиления и потерь у порога (13.26):
(13.3.1)
Это приводит к усилению квантовых ям, равному 190 см *. Усиление ^(см!) из-за межподзонных переходов |3) —> |2) определяется либо (8.876), либо (11.57) и составляет:
(13.3.2)
Здесь С1 толщина квантовой ямы (10 нм), Z0 — вакуумный импеданс (377 Ом), НГ32 Есть уширение перехода (типичное значение составляет 10 мэВ), Ну — резонансная энергия фотона (130 мэВ) и 12Ъ — дипольный матричный элемент (порядка 2 нм). Это приводит к пороговой концентрации 2 х 1010 см-2 — малой величине по сравнению с аналогичным параметром для лазеров на межзонных переходах (>1012 см-2). Это различие является результатом большой величине сил осциллятора, связанной с межподзонными переходами. Концентрация инверсии АПЪ2 = Пъ — п2 связана с током накачки соотношением (13.3):
Таким образом, мы приходим к пороговой плотности тока 5 кА см-2. Такая большая величина пороговой плотности тока связана с малым временем жизни возбужденного состояния. Тем не менее, несмотря на большие пороговые, токи квантово-каскадные лазеры обладают рядом преимуществ. Тремя основными преимуществами являются:
• Эти лазеры могут быть спроектированы таким образом, чтобы они работали на любой фиксированной длине волны в диапазоне между 4 и 13 мкм в рамках одной и той же полупроводниковой системы. Это может быть реализовано с использованием зонной инженерии, как это было описано в главе 8.
• Выходная мощность излучения квантово-каскадного лазера с N квантовыми ямами чрезвычайно велика (несколько сотен мВт), поскольку каждый электрон может привести к излучению в общей сложности N фотонов (по одному на каждую яму). С использованием (13.34) полная мощность излучения может быть записана в виде:
Рм =17«,*— (/-^кса) (13-3.4)
Я
Понятно, что поскольку приложенное напряжение пропорциональна А^х /л/КПД прибора Рои1/Ре 1 остается неизменным (смотрите (13.37б).
Как мы видели на рисунке 13.Г.4, максимальные рабочие температуры определяются Оже-рекомбинацией. Однако механизм Оже виртуально не существует при межподзонных переходах, поскольку подзоны параллельны (смотрите дополнение 6.Г и рис. 6.Г.1). В результате этого характеристические температуры Т0 для межподзонных лазебров достаточно велики. Например, для лазера, излучающего на длине волны 9,3 мкм Т0= 140 К. Таким образом, квантово = каскадные лазеры могут работать в импульсном режиме на таких больших длинах волн вплоть до комнатной температуры (смотрите рис. 13.Ж. З).
Рис. 13.3.3. Максимальные рабочие температуры квантово-каскадных лазеров, функционирующих на различных длинах волн. |