ЗАЩИТНЫЕ И УПРОЧНЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Между катодом и анодом подают от 1000 до 5000 В. Благодаря этому газ, который находится между катодом и анодом становится плазмой, т. е. проводит электрический ток. При этом положительные ионы под действием электрического поля начинают бомбардировать катод. Тем самым атомы напыляемого материала выбиваются из катода и затем осаждаются на анод.
Недостатком приведенной схемы является низкая скорость напыления, которая примерно в десять раз меньш, е чем в ранее рассмотренном способе вакуумного напыления.
Скорость напыления можно повысить, если использовать установку с двумя катодами.
При катодном распылении анод разогревается до температуры 300 - 500 0С, что обеспечивает хорошую сцепляемость покрытия с подложкой. Процесс проводят в вакууме 1 - 0,1 Па.
Процесс возможно проводить в химически активной среде. Поэтому можно создавать покрытия из карбидов, нитридов, оксидов. Газовая среда подбирается такой, чтобы она могла создавать необходимые химические соединения с распыляемым материалом.
