ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СВЕТОИЗЛУЧАЮЩИЕДИОДЫ
БЕСКОРПУСНЫЕ ИЗЛУЧАЮЩИЕ ДИОДЫ ДЛЯ ОПТРОНОВ
Основные требования, предъявляемые к источникам излучения для оптронов, следующие: высокий внешний квантовый выход излучения; высокое быстродействие; спектральное согласование излучения источника и максимальной чувствительности фотоприемника; миниатюрные размеры диода или излучающего пятна на его световыводящей поверхности; наличие плоской излучающей поверхности, удобной при монтаже диода в оптрон; высокая стабильность параметров диода в процессе эксплуатации оптрона; технологичность изготовления, обеспечивающая низкую трудоемкость производства ИК диодов и оптронов, а также их низкую стоимость.
Следует отметить, что требование миниатюрности диода или излучающего пятна весьма существенно, так как позволяет получить высокую поверхностную плот-
рис. 6.5. Типичный спектр излучения ИК диодов из GaAs: Si (/) „ из ФЭЛ гетероструктур в системе AlAs—GaAs (2) при комнатной температуре.
ность падающего потока излучения, обеспечить максимальный захват излучения фотоприемником при минимальной площади фото - приемного окна, благодаря чему уменьшается темповой ток фотоприемника и повышается помехозащищенность оптрона. Кроме того, миниатюрные размеры излучающего р—п-перехода расширяют диапазон линейности ватт-амперной характеристики диода, что позволяет увеличить диапазон токов аналоговых оптоэлектронных устройств.
Оптроны — широко применяемые изделия электронной техники, поэтому требования высокой технологичности и низкой трудоемкости производства очень важны.
Бескорпусные ИК диоды для оптронов в большинстве случаев изготавливают на основе эпитаксиальной структуры GaAs : Si или гетероструктуры в системе AlAs — GaAs. Оба вида структур позволяют получить диоды с высокой эффективностью, но различным быстродействием. Быстродействие диодов из GaAs: Si, как показано выше, составляет 0,5—3 мкс, диодов из гетероструктур на основе Gai-xAlxAs — 0,02—0,06 мкс.
По конструктивному оформлению ИК диоды для оптронов можно разделить на два основных вида: с плоской конфигурацией кристалла; с мезаструктурой со стороны р — п-перехода и плоской излучающей поверхностью.
Первый вид диодов характеризуется наименьшей материалоемкостью и стоимостью. Второй вид, уступая первому по вышеуказанным характеристикам, превосходит его по внешнему квантовому выходу излучения (за счет эффекта внутренней фокусировки излучения) и удобству монтажа диодов в оптрон (одностороннее расположение выводов).
Рассмотрим наиболее типичные виды диодов.
Устройство ИК диода плоской конфигурации на основе гетероструктур в системе AlAs — GaAs с переизлу- чающим фотолюминесцентным слоем (ФЭЛ гетероструктур) представлено на рис. 6.6, а. Диод имеет ма-
Рис. 6.6. Устройство бсскорпусных ИК диодов, применяемых в оптронах, с плоской конфигурацией кристалла на основе ФЭЛ гетероструктуры в системе AIAs—GaAs (а) и с мезаструктурой нз основе GaAs: Si (б): ^ —слой диэлектрика; 2 — омические контакты; 3 — излучающая эпитакси - альная структура; 4 — выводы |
лые размеры — около 0,5X0,5X0,25 мм. Омический контакт к излучающей стороне имеет вид креста, занимающего примерно 25 % ее площади. Омический контакт к тыльной стороне — сплошной, поскольку подложка непрозрачна для генерируемого излучения. Источник защищен тонким слоем компаунда с делью укрепления выводов, просветления и обеспечения необходимого сопротивления изоляции в оптроне.
Мощность излучения диодов лежит в пределах 300— 500 мкВт при 10 мА (типичное значение 350 мкВт). Это соответствует внешнему квантовому выходу излучения — 2—3,5 % ■ Прямое напряжение диодов находится в пределах 1,2—1,3 В при 10 мА. Как видим, при простой конструкции описанный ИК диод характеризуется сочетанием достаточно высоких значений мощности йз - лучения и быстродействия.
■Устройство ИК диода с мезаструктурой на основе эпитаксиальной структуры GaAs, легированной Si, представлено на рис. 6.6, б. Диаметр мезы обычно близок к 0,3 мм, глубина — на 20—30 мкм превышает глубину р — «-перехода. Напомним, что подложка диода из п-GaAs: Те прозрачна для излучения, генерируемого в активной области прибора.
В рассматриваемом источнике эффективность вывода излучения повышена по сравнению с плоскими образцами за счет эффекта «внутренней фокусировки». Схематически ход лучей в диоде показан на рис. 1.16. Благодаря этому эффекту мощность излучения возрастает
примерно в 2 раза по сравнению с диодами плоской конфигурации из тех же структур. Одновременно возрастает поверхностная плотность падающего потока, так как излучение локализуется под мезаструктурой в пятно, диаметр которого примерно равен двум диаметрам ме - зы. Источник со стороны мезаструктуры защищается тонким слоем компаунда для укрепления выводов. При этом на 10—20 % возрастает мощность излучения за счет отражения света от границы полимер — воздух.
Мощность излучения диодов находится в пределах 300—500 мкВт при 10 мА (типичное значение 350— 400 мкВт). Это соответствует внешнему квантовому выходу излучения 2,5—4 %. Прямое напряжение диодов менее 1,3 В при 10 мА.
Спектр излучения диодов представлен на рис. 6.5 и хорошо согласуется со спектральной характеристикой кремниевых фотоприемников. Следует отметить, что излучение GaAs : Si, как более длинноволновое, имеет большую глубину поглощения в Si, чем излучение из гетероструктуры Gai-aAlaAs. Диаграмма направленности излучения рассмотренных бескорпусных диодов носит ламбертовский характер (полуширина примерно 120 °).