Основные физические характеристики электронного пучка
Электрон как устойчивая материальная частица может быть сравнительно просто выделен различными физическими способами, что и обусловило его широкое использование в различных областях науки и техники.
Внутри кристалла каждый атом удерживается симметрично направленными силами связи. На свободной поверхности кристалла или жидкости атом неуравновешен вследствие того, что со стороны окружающей среды связь отсутствует или заметно ослаблена. Это вызывает повышение энергии поверхностного слоя кристалла wn. Если необходимая атому энергия, для перемещения внутри тела равна wq (см. Рис. 1.2. Потенциальный барь - рис. 1.2), то для выхода в окружаю - ер для системы атомов у по - щую среду она равна wn, причем
верхности кристалла (<а) и на |
Wq. Поэтому для соединения
границе твердой и жидкой фаз ДВуХ монокристаллов в один требу - (iб) в начальный период их ется введение извне деформацион-
контакта «
ной или тепловой энергии, превышающей граничную энергию wT.
Внешняя деформационная энергия будет затрачиваться на преодоление сил отталкивания, возникающих между сближаемыми поверхностными атомами. Когда расстояния между ними будут равны межатомному расстоянию в кристаллической решетке, возникнут квантовые процессы взаимодействия электронных оболочек атомов. После этого общая энергия системы начнет снижаться до уровня, соответствующего энергии атомов в решетке целого кристалла, и появится «выигрыш» энергии, равный избыточной энергии поверхностных атомов кристаллов до их соединения - энергии активации.
Тепловая энергия, сообщенная поверхностным атомам при повышении температуры, увеличивает вероятность развития квантовых процессов электронного взаимодействия в соединении.
Стадийность процесса сварки. Результаты исследований и теоретический анализ показывают, что сварку и пайку можно отнести к классу так называемых топохимических* реакций, которые отличаются двухстадийностью процесса образования прочных связей между атомами соединяемых веществ (рис. 1.3), характерной только для микроучастков соединяемых поверхностей.
Топохимические реакции - это химические реакции с участием твердых
тел.
На первой стадии (А) развивается физический контакт, т. е. осуществляется сближение соединяемых веществ на расстояния, требуемые для межатомного взаимодействия. При этом энергетические уровни связи соответствуют уровням, характерным для физической адсорбции = 0,04...0,4 кДж/моль). На второй стадии (Б) - стадии химического взаимодействия (схватывания) - заканчивается процесс образования прочного соединения. Схватывание - бездиффузи - онный процесс и в принципе может происходить при любых температурах, если возможна микропластическая деформация.
Рис. 1.3. Кинетика изменения прочности соединения а в зависимости от длительности сварки t (топохимические кривые) при быстром (/) и медленном (2) развитии стадий образования физического контакта (А) и химического взаимодействия (Б) |
На практике получение монолитных соединений осложняется тем, что свариваемые поверхности имеют:
- микронеровности - 10 м даже при тщательной обработке (поэтому при совмещении поверхностей контакт возможен лишь в отдельных точках);
- загрязнения, так как на любой поверхности твердого тела адсорбируются атомы внешней среды.
Для монолитного соединения материалов при сварке необходимо обеспечить контакт по большей части стыкуемых поверхностей и их активацию.
Энергия активации. Активация поверхности заключается в том, что поверхностным атомам твердого тела сообщается некоторая энергия, необходимая:
- для разрыва старых связей между атомами тела и атомами внешней среды, обусловленных физико-химическим состоянием поверхности;
- для повышения энергии поверхностных атомов до уровня потенциального барьера, при котором возможно образование новых химических связей, т. е. схватывание.
В общем случае энергия активации может быть сообщена в форме теплоты (термическая активация), упругопластической деформации (механическая активация), электронного, ионного и Других видов облучения (радиационная активация).
Наиболее простой способ получения электронов - нагрев твердых тел (чаще всего металлов), которые при этом начинают испускать термоэлектроны. Для сообщения электронам необходимой энергии и формирования из них потока частиц, несущих определенную энергию, могут использоваться различные методы. Самый простой из них и наиболее распространенный - ускорение электронов с помощью электрического поля, создаваемого в электронной пушке между катодом и анодом, в котором на электрон действует сила
F = eE, (3.1)
-19
где е = 1,6* 10 Кл - заряд электрона; Е - напряженность электрического поля, В/м.
При движении электрона в электрическом поле между точками с разностью потенциалов U он приобретает энергию
A = eU. (3.2)
Это приращение энергии электрона происходит вследствие его ускорения полем - увеличения его кинетической энергии, т. е.
еи^А°2-4)' (ЗЛ)
где те - масса электрона, кг; v, г0 - конечная и начальная скорости электрона, м/с. Принимая Vq = 0, получим
eU=^f, (3.4)
т. е. энергия электрона зависит от его массы и скорости. В реальных условиях, когда масса электрона постоянна, единственный путь увеличения его энергии - повышение скорости его движения, что и реализуется в электронной пушке.
Из формулы (3.4) можно получить выражение для скорости движения электрона при прохождении между точками с разностью потенциалов U:
t> = J— • (3-5)
Подставляя в это выражение значения заряда и массы электрона, находим соотношение между ускоряющим напряжением и скоростью электрона:
v = 5,93-Ю5 л/и. (3.6)
Однако если по формуле (3.6) определить скорость электрона, ускоренного разностью потенциалов порядка 106 В, то получим значение, превышающее скорость света с = 3-Ю8 м/с, что противоречит основному положению теории относительности. Поэтому для вычисления скоростей быстрых (релятивистких) электронов нужно использовать выражение
V 2
ЩС
где то - масса покоя электрона, равная 9,1-10 31 кг. В реальных условиях ускоряющее напряжение U составляет 15...200 кВ, что позволяет разгонять электроны до значительных скоростей.
Выбор ускоряющего напряжения при электронно-лучевой обработке материала в существенной мере зависит от ее назначения. С одной стороны, чем выше это напряжение, тем большую энергию можно сообщить электронам и тем эффективнее будет воздействие электронного пучка на обрабатываемый материал. С другой стороны, увеличение напряжения приводит к резкому повышению уровня рентгеновского излучения, сопутствующего электронно-лучевой обработке, усложнению и удорожанию оборудования и необходимости выполнения специальных требований техники безопасности. В связи с этим в электронно-лучевой технологии в настоящее время применяется следующее разделение оборудования по значению ускоряющего напряжения.
1. Низковольтные системы с ускоряющим напряжением от 15 до 30 кВ и небольшой мощностью (до 15 кВт). Эти системы, наиболее простые по конструкции и в эксплуатации, применяются в основном для сварки различных материалов толщиной до 30 мм.
2. Высоковольтные системы с ускоряющим напряжением
120.. . 180 кВ и мощностью 1...120 кВт наиболее сложны в изготовлении и эксплуатации. Такие системы мощностью до 3 кВт применяются для проведения прецизионной размерной обработки и микросварки, а мощностью свыше 60 кВт - как правило, для сварки крупногабаритных изделий.
3. Системы с промежуточными значениями ускоряющего напряжения (50...80 кВ) и мощности (15...60 кВт) применяются в тех случаях, когда необходимо увеличить глубину проплавления до 60 мм и более в зависимости от обрабатываемого материала.
Важная особенность использования электронного пучка - возможность управления им при помощи электростатических и магнитных полей. Наибольшее распространение на практике получили магнитные системы фокусировки и управления перемещением электронного пучка.
На движущийся в магнитном поле электрон действует сила Лоренца
F-Bv sin а, (3.7)
где В - магнитная индукция; а - угол между направлением движения электрона и магнитной силовой линией поля. Сила Лоренца не изменяет составляющую скорости электрона вдоль направления поля (F = 0, если а = 0), но изменяет направление составляющей скорости электрона, перепендикулярной силовым линиям поля, заставляя электрон двигаться в магнитном поле по окружности, лежащей в плоскости, перпендикулярной силовым линиям поля. Суммарная траектория движения электрона при а*0 и
а *90° представляет собой пространственную спираль - винтовую линию, ось которой параллельна В, радиус зависит от скоро
шаг |
сти электрона и напряженности магнитного поля
2nmpvcosa равен -
Be
Создавая при помощи специальной магнитной системы (магнитной линзы) по оси электронного пучка магнитное поле с силовыми линиями определенной формы, можно обеспечить сходимость траекторий электронов в одной точке (фокусировку) и изменять ее в широких пределах. При этом изменяется концентрация энергии на обрабатываемом изделии, что представляет значительный интерес с технологической точки зрения.
Для перемещения электронного пучка по обрабатываемой поверхности обычно используют его взаимодействие со скрещенными поперечными магнитными полями, создаваемыми отклоняющей системой. Малая инерционность электронов позволяет
обеспечить широкий диапазон скоростей перемещения электронного пучка по обрабатываемой поверхности при практически любой форме траектории.
Необходимое условие существования электронного пучка - создание вакуума на пути движения электронов, так как в противном случае в результате соударения с молекулами атмосферных газов электроны отдают им свою энергию и пучок рассеивается. Средняя длина свободного пробега электрона в газе определяется выражением
ппг
где п - концентрация газа на пути движения электронов; г - газокинетический радиус взаимодействия молекул газа.
Значения средней длины свободного пробега электрона в воздухе (при 300 К) для разных значений давленияр приведены ниже:
р, Па................................ 1,01 105 133 1,33 1,3 ■ 10-2
Л, мм................................ 3,5 10^ 2,6- 10~‘ 26,6 2660
Таким образом, исходя из конструктивных особенностей установок, максимально допустимым давлением в камере для элек-
_2
тронно-лучевых установок следует считать 5-Ю Па. В реальных
-3 -4
условиях давление стараются довести до 5 • 10 или 5-Ю Па, так как при ухудшении вакуума в электронной пушке резко увеличивается число ионизированных электронами ионов остаточных газов и это может привести к пробою промежутка между анодом и катодом электронной пушки. При повышении давления в камере До 1...10 Па рассеяние электронного пучка становится существенным в пространстве его дрейфа и это ограничивает возможную Длину пучка.
Очевидно, что выводить электронный пучок из вакуума в область с более высоким давлением имеет смысл только в том случае, если длина свободного пробега электронов в этой области предельно мала. Такие электронные пушки с выводом электронного пучка в атмосферу иногда применяют для сварки. При этом электронная пушка перемещается непосредственно по свариваемому изделию, ход пучка в атмосфере составляет не более 10 мм. Применяемое ускоряющее напряжение составляет 150...200 кВ, а в зону между пушкой и свариваемой поверхностью подают защитный газ (гелий или аргон).
При падении электронного пучка на обрабатываемую поверхность кинетическая энергия электронов в результате их взаимодействия с атомами вещества обрабатываемой поверхности превращается в другие виды энергии.
Максимальное значение плотности мощности qim электронного пучка в зоне его воздействия на вещество может достигать 7 8 2
10 ...10 Вт/см, что позволяет проводить размерную обработку материалов путем их локального испарения в месте воздействия пучка на изделие. По мере уменьшения qim (это сравнительно просто можно осуществить расфокусировкой пучка) возможно проведение термических процессов (плавки, сварки, нагрева в вакууме), а также нетермических процессов - стерилизации, полимеризации и т. п.
Достигая обрабатываемой поверхности, электроны пучка внедряются в вещество, испытывая торможение и проходя при этом некоторый путь. Длина этого пути, изученная Шонландом, определяется по формуле
где 8 - глубина проникания электрона в вещество, см; U - ускоряющее напряжение, В; р - плотность вещества, г/см.
Реальная глубина проникания электрона в вещество в соответствии с формулой (3.9) обычно не превышает нескольких десятков микрометров, но ею нельзя пренебрегать при учете взаимодействия электронов с веществом, особенно при больших значениях плотности мощности в электронном пучке. Проходя сквозь вещество, электроны взаимодействуют с кристаллической структурой или отдельными частицами вещества. При этом вследствие обмена энергией увеличивается амплитуда колебаний составляющих вещество частиц, изменяются параметры его кристаллической решетки, повышается температура вещества. Достаточно большая энергия, сообщенная электронами атомам, может привести даже к разрыву связей между отдельными атомами.
При торможении электрона в веществе кроме выделения тепловой энергии происходит еще ряд различных явлений. Суммарное выделение энергии при электронной бомбардировке поверхности расходуется на следующие основные процессы:
1) собственно нагрев поверхности, используемый в технологических целях;
2) тормозное рентгеновское излучение, возникающее при электронной бомбардировке материалов;
3) вторичная электронная эмиссия, отражение электронов и термоэлектронная эмиссия с обрабатываемой поверхности;
4) побочные явления, сопровождающиеся потерями энергии.
Следует отметить, что электронный пучок имеет максимальный коэффициент поглощения энергии в обрабатываемом веществе, достигающий 80...95 % полной мощности источника и является одним из самых эффективных источников энергии для сварки.
Нагрев обрабатываемого материала электронным пучком осуществляется в результате выделения тепловой энергии в поверхностных слоях вещества и дальнейшей передачи теплоты в его внутренние слои. Высокая интенсивность ввода энергии в вещество при электронно-лучевой обработке приводит к развитию значительных поверхностных температур, уровень которых может превышать точку кипения даже самых тугоплавких материалов.