Советская система производства
О русском микроэлектронном производстве 1985 и 1987 годы. :: noname
Если честно, и сейчас-то таковой текст является – как минимум для очень правоверных обитателей родного Зеленограда – истинной медиабомбой, и какой степенью смелости был должен владеть сотрудник «Ангстрема», чтоб говорить совсем непарадную правду о собственном производстве в 1985 и 1987 годах!
Естественно, лица самых различных возрастов произнесут мне, что я злобно клевещу. Но, во-1-х, по рассказам собственных товарищей и служащих по НИИТМ я уже в те годы имел представление о том, что представляет из себя «высокотехнологичное производство», и, как осознаете, я жил в Зеленограде и нюхал тогдашний зеленоградский воздух (а доходя до Горетовки, и горетовский тоже – там были склады хим материалов) – вот в особенности когда на 8-й микрорайон задували ветры со стороны «Ангстрема» и «Элмы», тем паче что до строительства нового 8-го микрорайона наш тогдашний 851 корпус был самый ближний к ним. И осаждавшееся на стеклах нечто помню, и многократный парадокс желтоватого снега, и мертвые, со сожженными листьями деревья около «Элмы» летом 1982-го, и пожухлую травку в лесу за «Ангстремом»…
Одним словом, не пожалейте времени и постарайтесь прочесть, последовав по указываемой мною снова ссылке, эти 409 тыщ с кое-чем символов. Вроде бы ни была горька наша история, ее необходимо знать – тем паче в преддверии всяческой парадной трескотни и рассказов о том, как демократы развалили советскую микроэлектронику намедни официального 55-летия Зеленограда.
Кому любопытно ознакомиться с цитатами – много противного под катом. Осуждения создателем продукции НИИТМ, другими словами систем обработки кремниевых пластинок я опустил , оставаясь в каком-то смысле патриотом родного НИИ.
Размещено в сборнике «Производственные интервью», выпуск 1. М: ИНП РАН, 1988 г.
Респондент – Владимир Корсетов, рабочий завода «Ангстрем» (Зеленоград). В рассматриваемый период работал рабочим в одном из цехов. Организовывал в цеху «итальянские» стачки, вступал с предприятием в юридические споры, судился и выигрывал суды. Пробовал организовать независящий профсоюз.
Кроме протестной активности, В. Корсетов оказался внимательным наблюдателем. Его выводы о причинах неэффективности русского производства, непременно, заслуживают внимания. В 1987 году, видя правоту многих аргументов В. Корсетова, администрация завода предложила ему должность заместителя начальника цеха для разработки экономического опыта. Опыт реализован не был, но В. Корсетов тщательно разработал его принципы, которые описаны им в «Беседе второй».
В постсоветское время В. Корсетов стал бизнесменом.
…У нас сильно много времени затрачивается на различные продувки, потому что мы имеем дело с высокотоксичными газами. К примеру, подымать колпак реактора допустимо только после того, как произошла продувка азотом. На это дается определенное время, 10 минут. Это время дано с огромным припасом, и рабочие очень очень его уменьшают, приблизительно до 2-х минут, а время от времени и до 30 секунд. При всем этом люди, естественно, отравляются, другими словами получают определенную дозу отравляющего вещества. Существует еще такового рода увлекательный резерв: дело в том, что наши максимально допустимые концентрации номинально установлены ниже, чем на Западе. Но реально эти ПДК, естественно не соблюдаются. Их, кстати, и инспектировать нечем. Нижний предел чувствительности наших газоанализаторов существенно выше нашего ПДК.
Другими словами фактическая загазованность у нас больше?
Непременно, больше. На Западе у каждой установки стоит газоанализатор непрерывного деяния. У нас контроль осуществляется в наилучшем случае пару раз за смену. Наши газоанализаторы очень просты, и к тому же плохо отлаживаются.
Нарушение техники безопасности – это единственная причина высочайшей загазованности?
Нет, не единственная, и я думаю, что не основная, потому что в оборудовании существует масса утечек. Очень нередко к усилению загазованности приводит плохая наладка и плохая проверка наладки. Не так давно мы узнали, что на примыкающей установке оператор травился всякий раз, когда поднимал колпак, при этом это происходило в протяжении достаточно длительного времени. Оказалось, что все клапаны, которые должны были держать ядовитый газ, давали утечку. Проверить эти клапаны, другими словами провести опрессовку, было нельзя, так как не работали надлежащие вентили. Только после скандала удалось достигнуть, чтоб вентили починили, и после чего выяснилось, что все течет.
Могу привести очередной пример. Когда реактор закрывают крышкой, то плотность обеспечивается специальной резиновой прокладкой. Итак вот, когда эти реакторы устанавливали, видимо, не оказалось подходящих прокладок. Тогда взяли прокладку большего размера, кусочек отрезали, а стык склеили каким-то клеем. Но клеевое соединение оказалось некрепким, и стык разошелся – образовалась щель около 1,5 мм. И так было на всех реакторах этого типа. Мы
прогуливались инспектировать на примыкающий участок, и там тоже была такая же история. Полтора мм – это как бы незначительно, но нужно учесть, что применяемые в нашей технологии газы по токсичности не уступают многим боевым ядам. В общем, когда мы занялись этим вопросом, другими словами стали добиваться ликвидации утечек, я сходу ощутил, что стал меньше кашлять (1-ый симптом приобретенного отравления – это кашель). При этом это улучшение было вправду беспристрастным, потому что уменьшение кашля увидела и моя супруга.
Когда люди сами нарушают технику безопасности, они все-же ощущают примерные пределы допустимого, потому я считаю этот фактор наименее значимым. Повышение дозы сходу сказывается на самочувствии, и этот предел рабочие стараются не перебегать. А воздействие утечек очень тяжело проконтролировать, потому что утечки происходят не только лишь на нашем участке, да и во всем цехе, при этом набор отравляющих веществ просто умопомрачительный, там все есть: сурьма, мышьяк, различные излучения (рентгеновские, высокочастотные и др. ), растворители, кислоты (включая плавиковую), ядовитые газы, включая соединения фосфора, и т. д. Некие газы употребляются в высочайшей концентрации: 20%, а то и 100%. Очень суровое трения у нас были из-за того, что администрация желала перейти на технологию с внедрением 100% фосфина. Фосфин – это очень ядовитый газ. Мы настаивали на том, чтоб при переходе на 100% фосфин на участке было установлено ввезенное оборудование, которое гарантирует от утечек, потому что в данном случае неважно какая утечка может привести к смертельному отравлению. На данный момент администрация отказалась от использования 100% фосфина: видимо, руководители сообразили, что риск очень велик.
Отлично ли работает вентиляция Вашего цеха?
Я бы не произнес, что наша вентиляция отлично работает. Какую-то часть ядовитых веществ она, естественно, удаляет, но вместе с этим она перемешивает воздух по цеху. Дело в том, что для обеспечения подачи незапятнанного воздуха на рабочие места у нас есть нагнетательные модули. Система нагнетания работает двухступенчато, другими словами поначалу воздух подается в цеховое место, а потом из атмосферы цеха подается к определенным участкам и рабочим местам. Совместная работа нагнетательных модулей и вентиляции делает, по-видимому, очень сложную аэро систему, которую нереально высчитать либо смоделировать. Не знаю, было ли такое проектное решение единственно вероятным, во всяком случае, смешивание воздуха в цехе чувствуется просто по запаху. Если человек прогуливается по цеху, он равномерно получает всю массу воздействий, при этом ощущается, что запахи временами изменяются. К концу смены эти вредные воздействия, в общем, уже дают о для себя знать, многие начинают ощущать тошноту и другие признаки отравления. При этом это относится не только лишь к тем, кто работает на определенном оборудовании, да и фактически ко всем кто находится в цехе. Восемь часов в цехе уже очень тяжело находиться. А именно это сходу ощутили те работники, которым не так давно отменили льготы по вредности и прирастили длительность смены с 7 до 8 часов. Это сказывается также на инженерном составе, у каких рабочий денек не нормирован, и которые находятся в цехе существенно больше рабочих (бывает, что по 12–15 часов). Все эти вещи очень сказываются на длительности жизни. У нас некрологи на погибших работников вывешиваются около проходной. Я специально уделял свое внимание: если инженерный работник работает у нас больше 15 лет, и при всем этом работал в цехе, он обычно не доживает до 55 лет. В некрологах повсевременно мерцают числа: 45 лет, 50 лет, 55 лет максимум. Интересно отметить, что уровень загазованности в цехе зависит почти во всем от самих же инженеров.
Про вредность можно еще добавить, что у нас в цехе и в других главных цехах работает сильно много дам. Я считаю, что дамы отравляются у нас посильнее, чем мужчины. Дело в том, что дамы более пассивны, и они меньше настроены «качать права». Их заработная плата, обычно, существенно меньше, чем у парней, потому что мужчины могут кое-где кликом, а кое-где давлением на администрацию и практически стачками, «работок по правилам» достигнуть того, что заработок у нихстановится выше. Администрация тоже соображает, что мужик должен подкармливать семью, и потому ему нужна более высочайшая заработная плата. Схожие вещи происходят и с вредностью. Понятно, к примеру, что дамы фактически не обращаются в заводской медпункт с травмами, отравлениями и т. п. Частично это происходит поэтому, что дамы аккуратнее работают, да и не только лишь потому. Они вообщем не склонные куда-то идти и что-то обосновывать. Если работница на «женском» участке отравилась либо получила травму, ее потихоньку отпускают домой, а случай нигде не регится, никто ничего об этом не знает. Такое поведение работников (и не
только дам) является полностью понятным, если учитывать, что воззвание в медпункт с производственной травмой либо отравлением, на самом деле, значит скандал, т. к. работник, во-1-х, должен обосновать, что это отравление было, а во-2-х, что оно вышло не по его вине.
Дам у нас, обычно, работают с открытыми, другими словами не имеющими герметизации установками (обычный пример – участок гальваники), и концентрации ядовитых веществ там, непременно, очень значительны.
На данный момент администрация нашего завода завлекает на работу много молодежи, в том числе женщин, которые не осознает, куда идут. В итоге у нас в городке, где очень многие работают на таких предприятиях, наблюдается большой процент выкидышей, рождений дефективных деток и т. п.
Вы гласили, что у Вас был конфликт из-за утечек ядовитых газов?
Да. Начался он с того, что нам попробовали заявить, что никакой вредности у нас нет. В ответ нам пришлось писать письмо в Госкомтруд и другие организации и указывать на определенные факты наличия вредности и нарушений техники безопасности. В итоге многие обозначенные нами нарушения были исправлены. Это бы, так сказать, побочный, но, непременно, очень нужный для всех нас эффект. Ранее имеющиеся на участке газоанализаторы (российские) вообщем по три месяца могли не работать, а на данный момент они более либо наименее работают. Установили один ввезенный газоанализатор, но к нему почему-либо не оказалось баллонов с калибровочной консистенцией, без которых прибор работать не может. Целая история была, как эти баллоны позже за валюту закупались через Швейцарию. Но администрации деваться было некуда, так как они записали этот анализатор для себя в план. А записали в план тоже не просто так, а поэтому, что из-за писем и жалоб в цех стали ходить комиссии и указывать цеховому управлению: у вас этого нет, того нет, и т.д.. Если поглядеть в аннотацию по технике безопасности, то окажется, что практически ничего нет. В итоге выяснилось, что ранее момента мы, сами того не подозревали, получали раз в день дозу по 6–8 ПДК, на неких участках и еще более, хотя в коллективном договоре написано, что вредность не должна превосходить 1 ПДК. 6–8 ПДК – это сильно много, и это непременно сказывается на нашем здоровье и самочувствии. А именно, от воздействия фосфина выпадают волосы, люди стремительно плешивят. Это проявляется уже через 3.5–4 года работы в загазованной атмосфере. Но это таковой вид воздействия, который можно созидать невооруженным глазом. Кроме этого фосфид очень плохо действует на кровь, на легкие, на другие внутренние органы. Все это, кстати, описано в наших цеховых инструкциях. Но ухудшение здоровья при приобретенном отравлении бывает очень постепенным, и обычно бывает тяжело осознать, из-за чего оно происходит. Нам гласили, что нормы у нас высочайшие, имеющиеся на участке приборы как бы не демонстрировали загазованности, и все считали, что все в порядке. Нужно еще сказать (я уже гласил об этом), что докторы очень без охоты ставят диагноз производственная травма либо производственное отравление. Это происходит только в очевидных случаях. Таковой случай был лично со мной. Но я думаю, что докторы отреагировали так серьезно только поэтому, что незадолго ранее в примыкающем цехе произошел смертельный случай. Там человек отравился арсином, и никто толком не знает, как это вышло. Есть догадка, что он вдохнул этот газ при смене баллонов, и сам не увидел этого. Арсин – это мышьяковистый водород, газ намного более ядовитый, чем фосфин. Через некое время у человека начался понос, он пошел к доктору, и тот поставил ему диагноз: расстройство желудка. Боль в пояснице доктор растолковал радикулитом. Короче, ему дали пилюлю и выслали домой. Дома у него началась рвота. Вызвали скорую помощь, она повезла его в заразное отделение, пока его везли, у него отказала печень. Здесь сообразили, что дело нечисто, и на скорой повезли в специальную поликлинику, но было уже поздно. Через день он скончался, и ничего сделать не смогли.
Скоро после чего отравление средней тяжести вышло со мной. Вышло это таким макаром: на установке засорились пути выведения газов, и создалось лишнее давление. Это достаточно частая неисправность, так как в итоге реакции появляется пыль двуокиси кремния (это все равно, что маленький песок), которая повсевременно засоряет трубы. Но реактор не рассчитан на лишнее давление, и в данном случае фосфин начинает вытекать из-под колпака. Я делал какие-то дела на собственном рабочем месте и вдруг понял, что явственно ощущается запах. Приблизившись к реактору, чтоб перекрыть подачу газа, я попал под струю, которая лупила из-под колпака. Обычно в таких случаях доктор отпускает человека домой и время от времени дает освобождение к тому же на последующий денек. Но после недавнешнего смертельного варианта в медпункте поднялся переполох, оказалось, что никто толком не знает, что такое фосфин, стали глядеть какие-то справочники, а потом вызвали скорую помощь. Доктор со скорой сперва обнюхал меня и, убедившись, что я не опьянен, посадил в машину и со ужасной скоростью покатил в поликлинику, где меня положили в реанимацию. Естественно, это была перестраховка, потому что отравление не было таким сильным. Продержали в поликлинике около 10 дней.
Типично, что во всех случаях производственных травм и отравлений администрация пишет, что случай произошел по вине самого рабочего, и профсоюзные работники всех рангов подписывают такое заключение. В описанной чуть повыше случае пришлось по суду обосновывать, что отравление вышло не по моей вине: после выхода из поликлиники я был лишен тринадцатой заработной платы за нарушение правил техники безопасности. Процесс удалось выиграть, и взыскание было отменено.
Как серьезно воспринимают рабочие вопросы вредности и техники безопасности?
К огорчению, недостаточно серьезно, для их более принципиальна зарплата. Что все-таки касается вредных причин, то пока человек молод и здоров, эти вещи его не очень затрагивают. У нас в цехе в главном работает молодежь, и нужно сказать, что администрация сознательно стремится набирать конкретно юных рабочих. Думаю, что в числе иных суждений тут играют роль и суждения, связанные с вредностью. Старики более чувствительны к вредным воздействиям и владеют огромным актуальным опитом тут, другими словами с ними администрации было бы сложнее. Сильно много берут лимитчиков. Это также делается сознательно. На данный момент лимитчики поставлены в очень подчиненное положение. Они около 10 лет должны дожидаться получения жилища, потому у их меньше желания «качать права».
[…]
Прежнему министру было сложнее заморочить голову?
Я считаю, что да. Вообщем, очковтирательство на данный момент развито очень очень. Положение дел в электронике очень тяжелое, потому что производственная база устарела, все наши новые так сказать «достижения» никуда не годятся. У нас в цехе установлен новый автоматический модуль российского производства. Его эффективность нулевая, он не работает, хотя стоит большенные средства. Еще разумнее было выстроить несколько модулей обычных, работающих, заместо этого нового, стоящего миллион рублей. И главное, что выяснилось не без моего роли, это то, что товарищи из министерства упустили очень важную делему – развитие базы контрольно-измерительного оборудования. Пока такое оборудование можно было брать на Западе, так и поступали. Поточнее, отчасти брали, а отчасти пробовали обходиться вообщем без этого оборудования. В нашем цехе работающее контрольно-измерительное оборудование – все западное. Российских аналогов, даже отдаленно приближающихся к забугорным, у нас нет. В конечном итоге ситуация такая, что создание работает «вслепую».
[…]
…Для того, чтоб отлично организовать создание и зарплату, нужно сделать высококачественный технический контроль, а для этого нужно соответственное оборудование. Но конкретно этого-то оборудования и нет.
Оно вообщем не выпускается в нашей стране?
Так выходит, что у нас вкладывают миллионы рублей в совсем не действующие автоматические полосы, а такие нужные приборы, как контрольное оборудование, не изготовляются. Почему это происходит? Считается, что мы можем действовать по японскому способу – ничего не держать под контролем. Но тут есть существенное замечание – жители страны восходящего солнца держут под контролем характеристики во время производства пластинки при помощи автоматической системы контроля. Ничего не держать под контролем для их значит: не держать под контролем готовое изделие, потому что в этом нет необходимости. Я не говорю уже о том, что разработка у их отлажена до совершенства, оборудование работает фактически без сбоев, и строго выдерживает характеристики.
У нас нет собственного контрольного оборудования, а то, которое есть – очень архаично и не обладает достаточной точностью. Не хватает даже микроскопов.
Не достаточно делается российских микроскопов либо в цехе их не хватает вообщем?
Вообщем не хватает, и а именно в нашем цехе, где нам нужны германские микроскопы, потому что русскими можно воспользоваться в очень ограниченных границах. А такая вещь, как застыл характеристик фотолитографии, от которой очень очень зависит качество микросхемы, осуществляется таким макаром: совмещается контактная сетка с «рисунком». Отклонение «рисунка» от сетки и дает представление о качестве микросхемы. Чем поточнее совпадение, тем лучше микросхема. Степень отличия определяется при помощи специального барабана на микроскопе, который позволяет подвести опасности к определенным трем точкам на «рисунке» и таким макаром замерить отклонение. Способ, как Вы видите, архаичный и недостаточно четкий. Но даже таковой обычный измерительной техники не хватает.
Можно ли поподробнее перечислить измерительное оборудование, которого нет?
Я столкнулся с таковой ситуацией, что вообщем не выпускается оборудование для операции ионного легирования, хотя в мире оно существует и у нас на заводе есть таковой прибор. По правилам техники безопасности он должен находиться вне цеха и стоять в специальной, так именуемой, ртутной комнате. Неувязка его использования заключается в том, что он очень непроизводителен, и производить оперативный контроль при помощи этого оборудования нереально. С его помощью процессы легирования контролируются один, в наилучшем случае дважды в неделю.
Так делают в мире?
Это мне непонятно. Специфичность данной операции состоит в том, что качество ионного легирования можно проконтролировать только после теплового отжига. Сущность процесса ионного легирования состоит во внедрении (имплантации) ионов в платину и разрушении ее структуры. Само внедрение ионов нужно для сотворения слоя другого заряда. Такое разрушение не позволяет держать под контролем какие-либо характеристики до восстановления структуры, что и происходит во время термообработки. Потому все характеристики ионного легирования можно проконтролировать только после термообработки. Вновь появляется ситуация, когда очень тяжело найти, на какой из 2-ух операций допущен брак.
Применительно к операции ионного легирования выход может быть найден таковой. Существует возможность держать под контролем процесс термической обработки, такая возможность есть: контроль температуры и времени разгонки. С этой целью довольно поставить соответственный прибор, который будет выведен на АСУ. При довольно маленьком резерве памяти на АСУ можно хранить полученную информацию 2–3 денька на случай «вылета» этого процесса. Если на базе этой инфы выясняется, что процесс термической обработки шел нормально, то в случае брака виновно будет ионное легирование.
Описанный мной вариант реален, да и с ним не все в порядке. Неувязка опять-таки заключается в отсутствии высококачественных устройств, которые можно было бы подключить к АСУ. На нашем производстве такие датчики установлены завезенные из других стран, при этом очень старенькые, приблизительно 25-летней давности. Есть и российские аналоги, очень неточные. Они выпускаются уже более 20 лет, и ничего более современного им на смену не сотворено. Я лично лицезрел описание этих датчиков, датированное 1967 годом.
Если идти далее по технологической цепи, то последующий шаг, подлежащий рассмотрению, – это напыление алюминия. Это операция, которую, вообщем говоря, держать под контролем можно. Контролироваться должна плотность слоя, потому что соблюдение этого параметра играет огромную роль при травлении. Если слой неравномерен, различен по структуре, то это сказывается при травлении. Нанесение последующего слоя из-за растравливания предшествующего очень усложняется. Из-за «растрава», появившегося вследствие плохого напыления алюминия, многие пластинки приходится просто выкидывать.
Установка для напыления алюминия именуется «карусель». В нее вставляется 9 пластинок. Толщину напыления держут под контролем так: берется отвертка и ей наносится царапинка на «пластине-спутнике», после этого «спутник» кладут под микроскоп и обычным методом по рискам определяют толщину слоя. Таковой метод определения толщины очень неточен, по нему нереально удерживать» характеристики в границах технологических допусков. Для высококачественного контроля толщина напыления алюминия нужна рентгеноспектральная установка. Оборудование – ввезенное, сложное, российские аналоги отсутствуют. В цехе имеется одна такая установка, но ее употребляют для контроля готовых микросхем. Для контроля свойства на промежных операциях нужного оборудования нет.
Все эти примеры я привел для того, чтоб показать, что неувязка контроля технологических характеристик меж операциями либо во время самого технологического процесса на нашем производстве не ставилась. Никогда не ставился какие характеристики нужно держать под контролем, в каких местах должен быть налажен контроль, какие характеристики удобнее либо прибыльнее держать под контролем. Тем паче, никогда не ставился вопрос увязки заморочек технического контроля с вопросами организации зарплаты.
Как обстоит дело на других заводах Вашей отрасли?
Наше создание является базисным в стране. На других заводах может быть только ужаснее, и притом намного.
[…]
