НАНОТЕХНОЛОГИЯ В БЛИЖАЙШЕМ ДЕСЯТИЛЕТИИ

Интеграция нанотехнологий в микросистемах

С. Т. Пикро[45]

Достижения нанотехнологии будут иметь важное значение для разработки ин­тегрированных микросистем. Интеграция микроэлектронных, микроэлектро­механических, оптических и химических микродатчиков в единые «системы - на-чипе» является именно тем направлением, которое позволит одновременно использовать механические, оптические и химические свойства материалов. На рис. 6.16 представлены возможные варианты применения таких миниатюр­ных интегрированных систем, которые смогут чувствовать, думать, говорить

Рис. 6.16. Возможности создания и использования интегрированных микросистем, в которых совместно используются механические, электрические, оптические и химиче­ские свойства наноматериалов.

(общаться) и действовать. Однако для их создания необходимо научиться уп­равлять наномасштабными процессами. Так, например, возможность созда­ния указанных на рисунке МЭМС и устройств фотоники зависит от успехов в изучении новых явлений в нанонауке и процессов в нанотехнологии.