ПРОИЗВОДСТВО ДИОКСИДА ГЕРМАНИЯ ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ
Общепринятая технология получения диоксида германия высокой чистоты включает три стадии: получение технического тетрахлорида германия из германиевых концентратов (а также отходов германия), очистку тетрахлорида германия и получение диоксида германия из очищенного тетрахлорида.
Получение технического тетрахлорида германия.
Общая схема получения тетрахлорида германия из германиевых концентратов и отходов германия приведена на рис. 66.
Германиевые концентраты (2-30% Ge) обрабатывают крепкой (11-12 н) соляной кислотой при нагревании до температуры ее кипения. При этом GeCl4 (точка кипения 83 °С) дистиллируется вместе с НС1 и улавливается в конденсаторах. При такой обработке германий отделяется от большей части сопутствующих элементов (Fe, Си, Si, Cd, Zn, Pb и др.). Однако вместе с GeCl4 летит AsCl3 (точка кипения 130 С), давление пара которого при температуре перегонки достаточно велико (GeCl4H AsCl3 образуют непрерывный ряд жидких растворов).
Для отделения основного количества мышьяка окисляют As3+ до Ass+, что приводит к образованию мышьяковой кислоты, остающейся в растворе. В качестве окислителя применяют пиролюзит:
Мп02 + 4НС1 = MnCl2 + Cl2 + 2HjO; (7.3)
AsCl3 + Cl2 + 4HjO = H3AsQ4 + 5HC1. (7.4)
Германиевый концентрат Крупные пусковые Мелкие пусковые (до30%&е) отходы германия отходы германия
Шлиф-порошки
)
Сллавление Слиток йробление
Дробление
С12
1
Г
НС1 (конц.)
Окислитель
1
Разложение
Хлорирование
Nh,
Паро-іазовая смесь (йСЦ. СІг)
Ога/зок
Пульпа Паро-газовая снесь (GeCU, AsCl3, НС1,Н20)
Нейтрализация
Пек (Fe(OH)j, ЈeOz-aq)
і
If
Ноенс
Раствор В слив
Конденсат (GeCl4,HCl) і.
Отработанная соляная кислота
Отстаивание и расслоение
GeCU техн.
Пары
Вода
Улавливание в скруббере
Раствор
Конденсация
На выделение германиевого концентрата
Ркс.66. Общая схема получения технического тетрахлорида германия из германиевых концентратов и отходов
Материал обрабатывают соляной кислотой в эмалированных стальных котлах с паровыми рубашками, имеющих нижнюю разгрузку и снабженных мешалками и крышками с патрубками для загрузки концентрата и отвода паров тетрахлорида. Пары GeCl4 вместе с парами НСІ поступают в конденсатор из тугоплавкого стекла, охлаждаемый солевым рассолом до -10 С. Вследствие малой растворимости GeCl4 в соляной кислоте конденсат расслаивается на два слоя: нижний слой GeCl4, верхний - соляная кислота, содержащая некоторое количество растворенного германия. Концентрация конденсируемой соляной кислоты - около 6,2 н. Примесь AsCl3 распределяется между двумя слоями, но большая его часть находится в соляной кислоте.
Кусковые отходы германия хлорируют хлором при 300 - 400 С, получая GeCl4 (см. рис. 62). Так называемые "шлиф-порошки", содержащие германий в смеси с абразивным материалом, поступают на обработку соляной кислотой (7 - 8н.) в присутствии окислителя - хлорида железа (III):
Ge + 4FeCl3 = GeCl4 + 4FeCl2. (7.5)
Отработанные кислые растворы регенерируют пропусканием хлора, окисляющего FeCl2 до FeCl3.
Очистка технического тетрахлорида германия
Для получения германия высокой чистоты, удовлетворяющего требованиям полупроводниковой электроники, необходима тщательная очистка исходных химических соединений от примесей. Наибольшее внимание при этом уделяется очистке от примеси мышьяка, содержание которого в техническом те- трахлориде германия обычно составляет 0,01-0,2 %.
В современных производствах сочетаются очистка GeCl4 экстракцией соляной кислотой с очисткой ректификацией.
Очистка экстракцией соляной кислотой. Очистка германия экстракцией соляной кислотой основана на ограниченной смешиваемости GeCl4 и концентрированной соляной кислоты и различной растворимости в них хлоридов примесных элементов, в частности AsCl3.
При малых концентрациях AsCl3 в GeCl4 коэффициенты распределения мышьяка между GeCl4 и 12 н. НС1 достигают
Нескрльких тысяч, что позволяет осуществить глубокую очистку непрерывным противоточным методом.
Эффективность экстракционной очистки сильно повышается, если экстракцию проводить соляной кислотой, несьпцен - ной хлором. В этом случае AsCl3 окисляется с образованием мышьяковой кислоты, практически нерастворимой в GeCl4.
Вместо хлора в качестве окислителя может быть использован пероксид водорода. При содержании в исходном хлориде германия ~0,01 % (моль.) As после двукратной экстракции 37,4 %-ной НС1, насыщенной хлором, содержание мышьяка в GeCl4 снижается до концентрации ~2,4 ■ Ю-5 % (моль.). Экстракцию можно вести непрерывно в насадочной колонке, в нижнюю часть которой поступает легкая фаза (НСІ + Н20 + С12), а в верхнюю - очищаемый GeCl4 - тяжелая фаза. В процессе экстракции соляной кислотой происходит очистка также от ряда других примесей (Си, В, Sb, Sn, Ті, Р, Mg,
V, Al, Fe).
Очистка ректификацией. Дополнительная глубокая очистка тетрахлорида германия достигается ректификацией. В области малых концентраций мышьяка [10_4-10~6 % (мол.)] относительная летучесть (или коэффициент разделения) хлоридов германия и мышьяка имеет небольшое значение 1,3. Поэтому для достижения глубокой очистки необходимо проводить ректификацию при достаточно большом числе тарелок колонки и высоком флегмовом числе.
Отработанная 267
Ректификацию проводят в кварцевых или фторопластовых
Clz CeCU
Технц - _Cl 2
Ржс.67. Схема непрерывной очистки тетрахлорида германия экстрактивной ректификацией:
~ колонна второй ступени очистки;
~ испаритель; 3 - колонна первой ступени очистки; 4 - конденсаторы
Колонках насадочного типа (заполненных кварцевыми Спиралями) или тарельчатых с щелевыми тарелками. В колонне эффективностью 10 теоретических тарелок при флегмовом / числе 20 получали хлорид германия с содержанием мышьяка ниже 10"6% (мол.).
Более совершенный процесс очистки, используемый на отечественных предприятиях, - непрерывная экстрактивная ректификация тетерахлорида германия, в которой ректификация сочетается с экстракцией примесей соляной кислотой из хлорида, находящегося в паровой фазе. Схема непрерывной очистки показана на рис. 67.
Процесс ведут в двух соединенных последовательно ректификационных колоннах высотой 3,5 м и диаметром 100 мм. Емкость кубов колонн 72 л. Колонны и кубы изготовлены из стекла пирекс.
Технический хлорид непрерывно подают в нижнюю треть колонны первой ступени очистки, куда вводится и хлор. В верхнюю часть колонны поступает соляная кислота азеотропного состава (20,2 % НС1), подогретая до 100 °С. Выходящие из колонны первой ступении пары GeCl4 конденсируются, собираются в испарителе, откуда поступают в колонку второй ступени, также орошаемую соляной кислотой. Производительность колонн Зл/ч по дистилляту, расход кислоты 12 л/ч. Очищенный этим способом хлорид германия содержит мышьяка 5-10_7% (по массе).
Получение диоксида германия
Диоксид германия служит основным исходным соединением для производства германия. Диоксид получают гидролитически разложением очищенного тетрахлорида германия:
GeCl4 + (2 + n)H20 = Ge02 • лН20 + 4НСІ. (7.6)
Для гидролиза применяют тщательно очищенную воду, удельное сопротивление которой должно быть не ниже 5 • 106 Ом • см. Гидролиз проводят в сосудах из кварца или пластмассы, например полиэтилена. Тетрахлорид германия с определенной скоростью вливают в воду, взятую в таком количестве, чтобы в результате гидролиза концентрация НС1 была равна 5 н. В этом случае достигается максимальное извлечение германия в осадок, так как при такой концент - радии кислоты растворимость Ge02 минимальная (0,67 г/л при?5°С и 0,47 г/л при 0°С).
При выборе условий гидролиза учитывают необходимость образования осадков, легко отделяющихся от маточного раствора фильтрацией, и получения диоксида германия с определенными физическими свойствами (крупность частиц, насыпная масса). Более грубодисперсные осадки получаются при температурах не выше 30-35 °С и введении тетрахлорида в воду медленно, по заданному режиму и оптимальной для используемого аппарата скорости перемешивания.
Поскольку гидролиз протекает с выделением тепла (ДЯ=-113 кДж), процесс ведут при охлаждении. Для завершения реакции необходимо перемешивание в течение нескольких часов.
Возможно • проведение гидролиза в непрерывном режиме. В этом случае в аппарат непрерывно подают воду и тетрахло - рид при соотношении объемов примерно 7:1, что обеспечивает поддержание постоянной кислотности (5,0-5,5 н. НСІ). Введение "затравки" в форме свежеосажденного диоксида германия ускоряет процесс.
Гидратированный диоксид германия фильтруют, промывают водой, спиртом и сушат при 150-200 С в противнях из кварца в электрических муфельных сушилках или сушилках с обогревом инфракрасными лучами. При указанных температурах Ge02 полностью обезвоживается. Получаемый диоксид относится к растворимой а-модификации с гексагональной решеткой.
Чистоту диоксида германия оценивают косвенно по величине удельного электросопротивления слитка германия, полученного из контрольной пробы диоксида: удельное сопротивление по всей длине слитка должно быть не ниже 20 Ом • см.
5. ПОЛУЧЕНИЕ ГЕРМАНИЯ
Восстановление диоксида германия водородом - наиболее распространенный в промышленной практике способ получения германия.
Суммарная реакция восстановления:
Ge02 + 2Н2 = Ge + 2Н20; AG° = 57500-6,57Г, Дж/моль. (7.7)
При 610 °С AG=0. В соответствии с этим GeOz восстанавливается водородом с высокой скоростью при температурах выше 600 °С.
Восстановление протекает в две стадии с промежуточным образованием монооксида германия:
Ge02 + Нг = GeO + НгО; (7.8)
GeO + И, = Ge + НгО (7.9)
Так как монооксид германия обладает заметной летучестью при температуре выше 700 °С, во избежание потерь восстановление ведут при 650-685 °С.
Диоксид германия восстанавливают в двухзонных печах с графитовыми трубами. Диоксид засыпают слоем 40-45 мм в лодочки из высокочистого графита, закрытые крышками, которые продвигаются вдоль труб механическими толкателями. Противоточно в печь подается чистый осушенный водород. Обычно в одной печи совмещают процесс восстановления в первой зоне (при 650-685 °С) с последующим получением слитка во второй зоне (при 1000 °С). По мере продвижения из второй зоны в холодильник расплав затвердевает. При этом происходит первая стадия его очистки путем направленной кристаллизации (см. ниже).
При высоте слоя диоксида германия 40-45 мм продолжительность восстановления (пребывание в первой зоне) составляет 3-3,5 ч.
При совмещении восстановления с плавкой и направленной кристаллизацией получают слитки германия с удельным сопротивлением в середине слитка примерно 35-40 Ом - см.