Копировальные слои
К. с. называются тонкие пленки с/ч полимерных или олигомерных составляющих, способных изменять свои физико химические свойства под действием УФ излучения. К. с. нанесенные на поверхность металл-основы называются пластинами для изготовления п/ф. К. с. делятся на 2 класса:1)позитивные 2)негативные
Позитивный к. с. под действием УФ излучения происходит диструкция с/ч соединений, в результате чего образованные при этом соединения приобретают растворимость и легко удаляются, проявленным растворителей. К таким слоям относятся: с/ч ортохиноидиозиды, бензольные и нафталиновые ряда.
В негативных копировальных слоях фотохимические превращения прводят к сшиванию полимеров, в результате чего теряется растворимость в проявл. растворах. К этому типу слоев относятся слои на основе хромированных полимеров, фотополимеризующихся композиций и т д. Копировальные слои должны удовлетворять следующим требованиям:1) при нанесении на подложку с/ч полимерные композиции должны образовывать ГоМОГЕННЫЕ безпористые тонкие полимерные пленки, толщиной -1,5-6 мкн.
2)должны обеспечивать хорошую адгезию пленки к подложке
3)хорошая разрешающая способность слоя
4)высокая избир. проявления или отсутствие растворимости технического участков слоя, которые должны оставаться на подложке
5) образованная защитная пленка должна хорошо защищать подложку от действия травления раствором
6) между защищенной и незащищенной пленкой должна быть резко очерченная граница
В состав с/ч композиции обязаны входить следующие композиции:
-пленкообразуюий полимер
-с/ч соединения
- растворитель
Мах спектральная чувствительность копировальных слоевлежит в интервале длин вон 350-420нм, поэтому для экспонирования выбирают такие источники света, мах излучение которых лежит в УФ области спектра. Применяемые лампы ртутные(высокого и сверхвысокого давления),металлогенные, ксеноновые лампы высокой мощности, а также люминисцентые лампы УФ излучения. Выбор проявителя определяется составом и свойствами полимера копировального слоя. Преимущественно применяютв качестве проявителей имеют воддный раствор. При проявлении копии важно достигнуть смачивания поверхности полимерной пленки проявляющего раствора, кроме того раствор должен проникать вглубь пленки. Важно моющее действие проявляют растворв, т. к. проявитель должен не только растворять, но и смывать с подложки соответствующие участки слоя.
Различие полимеров на экспонир. и неэкспонир. участки обеспечивает быстрое удаление слоя с одних участков и медленное (бесконечно) и др. Копию после проявления в основном подвергют термообработке. Остатки проявителя испаряются, а полимерная пленка укрепляется. Надежным способом термообработки проявленной копии является обработка ее ИК излучение при ступенчатом повышении температуры. Опт. тепература термообработки-120-180С в заисиости от применяемого слоя.
Защита свойств пленки зависит от ряда факторов, от состава копировального слоя и проявителя, от структур пленки, от условий проведения копировального процесса.
