ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ УСТАНОВКИ
Плазма - это полностью или частично ионизированный газ, являющийся в целом электро нейтральным. Полностью ионизированный газ называют высокотемпературной плазмой, а частично ионизированный, т. е. содержащий наряду с заряженными частицами (ионами, электронами) нейтральные компоненты (атомы, молекулы, радикалы) - низкотемпературной плазмой. В плазмохимических процессах используют лишь низкотемпературную плазму. Если средние температуры всех компонентов плазмы близки между собой, то такую плазму можно считать термически равновесной. Термически равновесная плазма реализуется в разрядах при атмосферном давлении и выше. Если плазма находится при пониженном давлении, когда время соударения легкой электронной компоненты газа с тяжелой относительно велико, то происходит отрыв среднегазовой температуры плазмы от электронной, и такая плазма считается термически неравновесной.
В плазмохимической технологии используют как равновесную, так и неравновесную плазмы. Равновесная плазма является источником большого количества активных частиц (ионов, атомов, радикалов), поэтому именно ее чаще используют при проведении крупнотоннажных плазмохимических процессов, таких как пиролиз и конверсия углеводородов и угля, получение оксида азота, высокодисперсных порошков металлов, карбидов, нитридов, бори - дов, оксидов и др.
Неравновесную плазму низкого давления применяют в основном для проведения различных синтезов, при которых недопустима высокая газовая температура. Это процессы получения пленок, травления и модификации поверхности различных материалов.
Конструктивно плазмохимические установки базируются на той или иной модели реактора, в который входят плазмотрон, реакционная камера, устройство подачи исходного продукта, закалочное устройство и т. д.
