ХИМИЯ КРЕМНЕЗЕМА

Скорость растворения в водном растворе HF

Бергман [232] провел обширные измерения скорости раство­рения кварца и тридимита в 0,1 и 1,0 М растворах HF при температуре 25°С. При использовании частиц микронного раз­мера им были получены достаточно воспроизводимые значения скоростей растворения, выражаемых в мг/(м2-ч). Тридимит рас­творялся в 0,1 М HF примерно в 7 раз быстрее, чем кварц, а кварцевое стекло — примерно в 45 раз быстрее, но в 1,0 М растворе HF различие было небольшим.

В расчете на единицу поверхности в 0,1М растворе кристо­балит и тридимит растворялись примерно в 10 раз быстрее, а кварцевое стекло — в 100 раз быстрее, чем кварц [233].

Был проведен ряд исследований по скорости травления крем­незема плавиковой кислотой, выполненных в связи с процес­сами, применяемыми в электронной промышленности. Запатен­тованная смесь HF и NH4F дает желаемую скорость травления для получения тонких пленок [234].

Было высказано мнение [235], что скорость воздействия HF на пленки БіОг обусловлена как ионом HF" , так и молекулой HF, причем первый из них оказывает в 4—5 раз более эффек­тивное действие, чем вторая. Плискин и Леман [236] применяли раствор, содержащий 2,26% HF и 2,15% HN03, для травления пленок SiOs на кремнии. Такая пленка, полученная окислением при 1000°С, вероятно, является непористой и протравливается со скоростью 2 А/с, что соответствует 1600 мг/(м2-ч). Исполь­зуя шарики из кварцевого стекла, Леко и Комарова [237] изме­рили скорости растворения в растворах HF вплоть до 20%-ной концентрации в интервале температур 20—80°С. По этим дан­ным можно подсчитать условия для удаления слоев кремнезема определенной толщины.

Результаты фундаментального изучения воздействия HF на кварцевое стекло опубликовали авторы работы [238], сопрово­див статью литературным обзором. Они вывели уравнения для скорости реакции и определили константы скоростей. Типичное значение константы скорости при 32°С &і=5-10~8 г БЮгДсХ Xcm2)Mhf.

ХИМИЯ КРЕМНЕЗЕМА

Реакционноспособный кремнезем

Высокие значения удельной поверхности и скорости раство­рения аморфного кремнезема позволяют проводить необходимые реакции при значительно более низких температурах, чем это требуется для измельченного в порошок кристаллического крем­незема. Повышенная химическая реакционная …

Гидрофильные покрытия на кремнеземе

Для некоторых применений желательно, чтобы поверхность кремнезема или стекла смачивалась водой. Но в то же время должны отсутствовать различные характерные ионные, гидро­фобные или водородные связи, которые возникают при адсорб­ции органических …

Наиболее ранние биологические формы

Несомненно, что наиболее древними ископаемыми остатками живых организмов являются сине-зеленые водоросли, обнару­женные в виде включений в шерте (микрокристаллическом кремнеземе), открытые Баргхорном и Тайлером [12] и в дальней­шем изученные многими исследователями …

Как с нами связаться:

Украина:
г.Александрия
тел./факс +38 05235  77193 Бухгалтерия
+38 050 512 11 94 — гл. инженер-менеджер (продажи всего оборудования)

+38 050 457 13 30 — Рашид - продажи новинок
e-mail: msd@inbox.ru
msd@msd.com.ua
Схема проезда к производственному офису:
Схема проезда к МСД

Оперативная связь

Укажите свой телефон или адрес эл. почты — наш менеджер перезвонит Вам в удобное для Вас время.