Cистема 4200-SCS для исследования характеристик полупроводниковых материалов и приборов
Компания Keithley Instruments, Inc. (США) более 60 лет является ведущим разработчиком и производителем аппаратуры для точных измерений, применяемой при производстве и тестировании полупроводниковых, оптоэлектронных, радиочастотных компонентов и интегральных схем. Компания выпускает около пятисот наименований изделий, в том числе пикоамперметры, электрометры, нановольтметры, прецизионные источники напряжения и тока, системы коммутации и измерения аналоговых, оптических и СВЧ-сигналов. Исключительная точность и надежность аппаратуры Keithley позволяют использовать ее для контроля высокотехнологичной продукции на всех этапах производства, а также в научных исследованиях и разработках.
Система 4200-SCS предоставляет широкие возможности для исследования характеристик полупроводниковых материалов и приборов по постоянному току и в импульсном режиме. Она позволяет проводить измерение вольтамперных характеристик с субфемтоамперным разрешением, вольтфарадных характеристик, а также реализовывать методы измерений с подкачкой зарядов импульсами напряжения длительностью 10 нс и более. Система включает в себя полнофункциональный персональный компьютер и обеспечивает анализ и визуализацию регистрируемых зависимостей.
Исключительно высокая чувствительность по току (10–16 A) позволяет применять систему 4200-SCS в научных исследованиях и разработках по созданию одноэлектронных транзисторов, приборов молекулярной электроники и других наноэлектронных устройств, требующих регистрации вольтамперных характеристик. Система также используется для измерений холловских напряжений, сопротивлений четырехзондовыми методами, в том числе методом Ван-дер-Пау.
Гибкость конфигурации системы 4200-SCS обеспечивается модульным исполнением. Она может включать до восьми измерительно-питающих устройств с собственными прецизионными источниками тока и напряжения, выполненными в виде плат расширения, и дополнительные дистанционные предусилители, повышающие разрешение от 100 фA (10–13 А) до 0,1 фA (10–16 А), что позволяет измерять сопротивления свыше 1012 Ом.
Основные области применения:
— разработка технологий изготовления полупроводников;
— исследования в области нанотехнологий;
— входной контроль материалов;
— исследование параметров надежности полупроводниковых приборов;
— измерение параметров интегральных схем и полупроводниковых приборов, в том числе мощных транзисторов;
— анализ причин и механизмов отказов.
