НАНОТЕХНОЛОГИЯ В БЛИЖАЙШЕМ ДЕСЯТИЛЕТИИ

Нанопечатная литография (НПЛ) С. Чоу1

Нанопечатная литография (НПЛ) С. Чоу1

А Прессование

Пресс-форма

Резист Подложка

Б Реактивное ионное травление

НПЛ представляет собой новый высокоэффективный подход к производству дешевой нанолитографической продукции [22, 23]. В методе НПЛ изображе­ние образуется в основном за счет физической деформации резиста пресс- формой (штампом), а не за счет модификации химической структуры резиста облучением, как в обычной литографии (рис. 4.2). Это принципиальное разли­чие освобождает НПЛ от многих проблем, связанных со стандартными метода-

Рис. 4.2. Схема процесса НПЛ [23] (© American Association for the Advancement of Science). a — печать с использованием штампа создает в резисте отдельные участки разной толщины; б — перенос изображения создается с по­мощью анизотропного вытравливания остат­ков резиста на вдавленных участках.

Ми литографии (диффузионный предел, рассеяние и химические процессы). В результате с помощью НПЛ можно недорого и с высоким выходом получать структуры размером менее 10 нм на больших площадях (рис. 4.3), что недо­ступно для всех существующих методов литографии.

Низкая стоимость метода НПЛ позволяет организовать коммерческое про­изводство наноструктур и сделать их общедоступным материалом. Роль НПЛ в нанотехнологии в большой степени сравнима с ролью персонального компью­тера в вычислительной технике, который сделал общедоступными компыотер-

>ll< 10 нм

Рис. 4.3. СЭМ-изображение структуры полиметилметакрила - та, полученной методом НПЛ (диаметр отверстий ~ 10 нм, пе­риод решетки 40 нм, глубина 60 нм) [24] (© 1997 American Vacuum Society).

Ные методы. Поэтому с методом НПЛ, возможно, будет связано развитие не только технологии интегральных схем, но и целых научных направлений, в ча­стности биологии, химии, медицины и материаловедения.

НАНОТЕХНОЛОГИЯ В БЛИЖАЙШЕМ ДЕСЯТИЛЕТИИ

НАСА

7. Направления нанотехнологии, имеющие приоритет в настоящее время. Изго­товление более легких и эффективных летательных аппаратов; биологиче­ские и медицинские датчики и устройства; разработка более мощных мини­атюрных компьютеров с низким энергопотреблением; разработка …

Национальный институт здоровья

9. Направления нанотехнологии, имеющие приоритет в настоящее время. Разра­ботка биоматериалов (например, для поверхностей раздела органических и неорганических сред, биосовместимых материалов и т. д.), создание новых устройств (например, биосенсоров и средств …

ННФ

11. Направления нанотехнологии, имеющие приоритет в настоящее время. Фун­даментальные исследования новых явлений, методов синтеза, обработки и сборки наноматериалов; конструирование новых материалов; изучение биоструктур и систем с биологическими свойствами; развитие архитектуры …

Как с нами связаться:

Украина:
г.Александрия
тел. +38 05235 7 41 13 Завод
тел./факс +38 05235  77193 Бухгалтерия
+38 067 561 22 71 — гл. менеджер (продажи всего оборудования)
+38 067 2650755 - продажа всего оборудования
+38 050 457 13 30 — Рашид - продажи всего оборудования
e-mail: msd@inbox.ru
msd@msd.com.ua
Скайп: msd-alexandriya

Схема проезда к производственному офису:
Схема проезда к МСД

Представительство МСД в Киеве: 044 228 67 86
Дистрибьютор в Турции
и странам Закавказья
линий по производству ПСВ,
термоблоков и легких бетонов
ооо "Компания Интер Кор" Тбилиси
+995 32 230 87 83
Теймураз Микадзе
+90 536 322 1424 Турция
info@intercor.co
+995(570) 10 87 83

Оперативная связь

Укажите свой телефон или адрес эл. почты — наш менеджер перезвонит Вам в удобное для Вас время.