НАНОТЕХНОЛОГИЯ В БЛИЖАЙШЕМ ДЕСЯТИЛЕТИИ

Нанопечатная литография (НПЛ) С. Чоу1

Нанопечатная литография (НПЛ) С. Чоу1

А Прессование

Пресс-форма

Резист Подложка

Б Реактивное ионное травление

НПЛ представляет собой новый высокоэффективный подход к производству дешевой нанолитографической продукции [22, 23]. В методе НПЛ изображе­ние образуется в основном за счет физической деформации резиста пресс- формой (штампом), а не за счет модификации химической структуры резиста облучением, как в обычной литографии (рис. 4.2). Это принципиальное разли­чие освобождает НПЛ от многих проблем, связанных со стандартными метода-

Рис. 4.2. Схема процесса НПЛ [23] (© American Association for the Advancement of Science). a — печать с использованием штампа создает в резисте отдельные участки разной толщины; б — перенос изображения создается с по­мощью анизотропного вытравливания остат­ков резиста на вдавленных участках.

Ми литографии (диффузионный предел, рассеяние и химические процессы). В результате с помощью НПЛ можно недорого и с высоким выходом получать структуры размером менее 10 нм на больших площадях (рис. 4.3), что недо­ступно для всех существующих методов литографии.

Низкая стоимость метода НПЛ позволяет организовать коммерческое про­изводство наноструктур и сделать их общедоступным материалом. Роль НПЛ в нанотехнологии в большой степени сравнима с ролью персонального компью­тера в вычислительной технике, который сделал общедоступными компыотер-

>ll< 10 нм

Рис. 4.3. СЭМ-изображение структуры полиметилметакрила - та, полученной методом НПЛ (диаметр отверстий ~ 10 нм, пе­риод решетки 40 нм, глубина 60 нм) [24] (© 1997 American Vacuum Society).

Ные методы. Поэтому с методом НПЛ, возможно, будет связано развитие не только технологии интегральных схем, но и целых научных направлений, в ча­стности биологии, химии, медицины и материаловедения.

НАНОТЕХНОЛОГИЯ В БЛИЖАЙШЕМ ДЕСЯТИЛЕТИИ

Российские достижения в наноструктурированной продукции

Применение наноалмазов в ГСМ в Украине В последнее время и в России наметились определенные успехи в практической реализации научных исследований. Так, наноструктурированная продукция инструмен¬тального и триботехнического назначения уже сейчас не …

Глобальная «наногонка»: государственное и частное финансирование

  Национальная нанотехнологическая инициатива США (National Nanotechnology Initiative – NNI), принятая благодаря бывшему президенту Клинтону и вступившая в силу в 2001 г., ознаменовала старт глобальной гонки ведущих мировых экономик в …

Программы по нанотехнологии, Поддержанные ведущими министерствами и организациями

М. К. Роко, Дж. Мердэй[85] Ниже предлагается обзор основных исследовательских и образовательных программ, которые считаются наиболее важными и перспективными феде­ральными министерствами и агентствами. 1. Министерство торговли (вместе с НИСТ). Нанотехнология …

Как с нами связаться:

Украина:
г.Александрия
тел./факс +38 05235  77193 Бухгалтерия
+38 050 512 11 94 — гл. инженер-менеджер (продажи всего оборудования)

+38 050 457 13 30 — Рашид - продажи новинок
e-mail: msd@inbox.ru
msd@msd.com.ua
Схема проезда к производственному офису:
Схема проезда к МСД

Оперативная связь

Укажите свой телефон или адрес эл. почты — наш менеджер перезвонит Вам в удобное для Вас время.