НАНОТЕХНОЛОГИЯ В БЛИЖАЙШЕМ ДЕСЯТИЛЕТИИ

Многофункциональные, комбинированные микроскопы ближнего поля и поверхностных сил

Д. Ван-дер-Вейде, Дж. Мердэй[19]

Оптическая микроскопия несколько столетий является одним из основных средств научных исследований. В середине XIX века был достигнут дифракци­онный предел разрешения оптического изображения (в видимой области спек­тра он составляет около 0,5 мкм). Развитие СТМ и АСМ в середине 1980-х гг. позволило повысить разрешающую способность на три порядка величины, од­нако у каждой разновидности микроскопов сохранились свои фундаменталь­ные физические ограничения на точность измерений. Для СТМ эти ограниче­ния связаны с физикой туннельных переходов или релаксационными процес­сами с участием инжектированных низкоэнергетических электронов. АСМ предоставляет более широкие возможности для исследования, поскольку чув­ствителен к действию разнообразных сил между щупом и подложкой (магнит­ных, кулоновских, дисперсионных, трения, ядерного отталкивания и т. д.). По­лучение оптических изображений при таких измерениях дополняет изображе­ния СТМ и АСМ.

Дифракция связана с эффектом излучения в дальнем поле, а микроскопия ближнего поля не ограничена дифракционным пределом, поскольку измере­ния производятся в непосредственной близости к поверхности образца. В не­которых вариантах сканирующей оптической микроскопии ближнего поля

Ilurtlivti., .НКОНОВЫЙ \

Экран \

Проводящий кремниевый щуп

Рис. 3.12. Антенный зонд ближнего поля [58] (© 1996 American Vacuum Society).

Используются очень малые апертуры и/или щуповые антенны. Разрешение изображения в видимом свете составляет ~ 10 нм.

Микроскопия ближнего поля не ограничивается видимой областью спект­ра. Недавние разработки объединили микроскопы ближнего поля с АСМ (рис. 3.12). Для этого внутри кронштейна АСМ монтируется миниатюрный коаксиальный кабель, заканчивающийся наноразмерным щупом. Такая сис­тема позволяет создать микрозонды без предельной частоты, в которых куло - новское взаимодействие ограничивается экраном. Микрозонды могут использоваться для одновременного исследования топографии поверхности (через силы) и переменных электрических полей (частотой до нескольких ГГц при использовании ближнего поля).

Многофункциональные, комбинированные микроскопы ближнего поля и поверхностных сил

Рис. 3.13. Корреляция измерений топоірафии поверхности при помощи антенны ближнего поля и формы регистрируемой при этом волны напряжения [59] (© 1997 American Institute of Physics).

На рис. 3.13 показана полученная этим методом топология нелинейной пе­редающей линии длиной ~ 100 нм, а также форма волны напряжения, измеря­емого через каждые 30 пс в указанной на рисунке точке. Такой микрозонд с ан­тенной ближнего поля может работать в различных режимах (детектирование, возбуждение, отражение и передача) и позволяет исследовать разнообразные микрообъекты — от электронных схем с миллиметровыми волнами до нервных клеток.

ШШМяшшш

^штш

■■■ИГ

Рис. 3.14. СТМ-изображение красных кровяных телец.

НАНОТЕХНОЛОГИЯ В БЛИЖАЙШЕМ ДЕСЯТИЛЕТИИ

Послесловие

Р. А. Андриевский, А. В. Хачоян Термин «нанотехнология» в 1974 г. был впервые использован японским уче­ным Танигучи на конференции Японского общества точного машинострое­ния [1,2]. Автор, специалист по обработке хрупких материалов, …

Аббревиатуры

АСМ Атомно-силовой микроскоп АТФ Аденозинтрифосфорная кислота ГМС Гигантское магнитосопротивление ЛИС Литографически-индуцированная самосборка МО Министерство обороны США МОП Структура металл-оксид-полупроводник Млэ Молекулярно-лучевая эпитаксия Мэмс Микроэлектромеханическая система НАСА Национальное управление по авиации …

НАСА

7. Направления нанотехнологии, имеющие приоритет в настоящее время. Изго­товление более легких и эффективных летательных аппаратов; биологиче­ские и медицинские датчики и устройства; разработка более мощных мини­атюрных компьютеров с низким энергопотреблением; разработка …

Как с нами связаться:

Украина:
г.Александрия
тел. +38 05235 7 41 13 Завод
тел./факс +38 05235  77193 Бухгалтерия
+38 067 561 22 71 — гл. менеджер (продажи всего оборудования)
+38 067 2650755 - продажа всего оборудования
+38 050 457 13 30 — Рашид - продажи всего оборудования
e-mail: msd@inbox.ru
msd@msd.com.ua
Скайп: msd-alexandriya

Схема проезда к производственному офису:
Схема проезда к МСД

Представительство МСД в Киеве: 044 228 67 86
Дистрибьютор в Турции
и странам Закавказья
линий по производству ПСВ,
термоблоков и легких бетонов
ооо "Компания Интер Кор" Тбилиси
+995 32 230 87 83
Теймураз Микадзе
+90 536 322 1424 Турция
info@intercor.co
+995(570) 10 87 83

Оперативная связь

Укажите свой телефон или адрес эл. почты — наш менеджер перезвонит Вам в удобное для Вас время.